Descripción de la infraestructura 

Equipo para la determinación de las contantes ópticas de materiales, tanto masivos, como películas delgadas, en el rango entre 190 nm 3200 nm de longitud de onda. En este último caso permite la determinación de espesores con resolución del Angstrom  y la realización de mapas topográficos de superficies de hasta 5 cm x 5cm, con una resolución lateral de hasta 100 micras. El equipo también permite la realización de medidas de  transmitancia, reflectancia y escaterometría de las muestras estudiadas.

Servicios  que se ofertan actualmente y posibles  aplicaciones en  otros campos

• Determinación de n, k y constante dieléctrica (real e imaginaria) de materiales en el rango de 190 nm a 3200 nm.
• Determinación de espesores de películas delgadas  entre 50 nm a varias micras (dependiendo del material).
• Realización de perfiles topográficos de superficies de hasta 5 cm x 5cm con resolución lateral de hasta 100 micras y en profundidad hasta 0,1 nm.
• Medidas de reflectometría y de acabado acabado especular.
• Espectros de reflexión y transmisión con luz polarizada.

Es necesario para su uso un técnico: sí. Dispone de técnico: no.

Observaciones

El tiempo de medida depende del rango y resolución espectral deseado.