Descripción de la infraestructura

Microscopio SEM-FEG con cañón de haces de iones focalizados. Resolución espacial de 7nm en modo SEM.

Contacto: fib.imeymat@uca.es

Servicios que se ofertan actualmente y posibles aplicaciones en otros campos

• Preparación de muestras electrón-transparentes para microscopía electrónica de materiales y dispositivos.
• Nano-mecanizado mediante FIB de materiales y dispositivos.
• Preparación de muestras en forma de nano-agujas para análisis mediante tomografía electrónica y de sonda atómica (atom probe tomography), así como para otras aplicaciones que requieran esta geometría de muestra.
• Manipulación de muestras de distintos materiales a escalo micro y nanométrica, incluyendo cortes en el material por ataque iónico, deposición de carbono o platino, transferencia de porciones de material a rejillas, etc.
• Análisis de materiales mediante SEM en modo electrones secundarios, con el haz de iones y catodoluminiscencoa (77K).
• Análisis 3D por haces de iones de distribución de precipitados u otras inclusiones en materiales y dispositivos mediante reconstrucción tomográfica.
• Otras operaciones específicas que requieran el uso de haces de iones focalizados, definidas específicamente por el peticionario del servicio.

Es necesario para su uso un técnico:  sí.  Dispone de técnico: sí

Observaciones

El equipo lo utiliza un técnico del IMEYMAT, un técnico contratado con cargo a proyecto, doctorandos y PDIs autorizados..