El FIB dual beam, de marca TESCAN y modelo SOLARIS, es un equipo que oferta nuevas opciones al IMEYMAT en microscopia electrónica más concretamente en la disponibilidad de hacer estudios ópticos con el detector de CL, poder estudiar muestras de gran tamaño, poder aplicar técnicas de estereofotogrametría para medir rugosidad, o calentar-enfriar la muestra, y en la posibilidad de hacer desarrollos de instrumentación. Este equipo permite realizar:

1.- Observaciones en modo SEM con una resolución de hasta 0,7nm.

2.- Observaciones en modo cañón de iones con una resolución de hasta 15nm.

3.- Realizar cortes, nanomecanizados gracias al cañón de iones de Ga.

4.- Realizar preparaciones TEM (lamelas) de todo tipo de materiales y observaciones en transmisión (similar al modo ADF o HAADF).

5.- Realizar pasos de Electrolitografía.

Cualquier investigador puede utilizar este nuevo equipo de manera autónoma tras recibir una formación o si se prefiere a través del técnico del equipo Gonzalo Alba  (gonzalo.alba@uca.es) quien también se encarga de gestionar las reservas para las sesiones FIB.

A continuación, se muestran las especificaciones:

SISTEMA BASE

• Microscopio electrónico de barrido (SEM), con una cámara de vacío que permita introducir tamaños de muestras grandes (dimensiones de muestra mayores que anchura: 300 mm, profundidad: 300 mm, alto: 100 mm).
• Fuente de tungsteno 1- 30kV, corriente entre 1 pA-2 uA.
• Modo de operación SingleVac para observación de muestras aislantes y WideField para muestras grandes.

DETECTORES

• Detectores de secundarios, SE.
• Detector BSE de 4 cuadrantes para topo, composición, o rugosidad 3D (con software complementario).
• Detector de rayos X para EDXS, 30 mm.
• Detector de catodoluminescencia pancromático o RGB en el rango óptico de 350 nm – 850 nm.

PORTAMUESTRAS

• 5 grados de libertad, todos motorizados que incluyan el desplazamiento en X, Y y Z, la rotación compucéntrica de 360 grados y la inclinación de las muestras en un rango de ángulos de al menos -60 a +90 grados.
• Portamuestras con calentamiento-enfriamiento en el rango de -25 ˚C a +160 ˚C.

PUERTOS

• Puerto SUB DB-15 feedthrough para poder hacer conexiones eléctricas desde el exterior para ensayos eléctricos in-situ.
• Puerto para inserción de fibra óptica.
• Ventana óptica.

OTROS

• Posibilidad de automatizar experimentos mediante scripting.
• Acceso remoto tanto para agilizar la revisión por parte del servicio técnico, así como para el acceso al equipo desde otra localización.
• Puerto externo para poder controlar el barrido del haz.

Programa Estatal de Generación de Conocimiento y Fortalecimiento Científico y Tecnológico del sistema I+D+I. Subprograma Estatal de Infraestructuras de Investigación y Equipamiento Científico – Técnico en el marco del Plan Estatal de Investigación Científica y Técnica y de Innovación 2017-2020. Cofinanciado por FEDER en un 80%. Referencia EQC2019-006348-P, expediente EXP038/2021/19